Elektronenspektroskopische Untersuchungen von Titannitrid

Elektronenspektroskopische Untersuchungen von Titannitrid

Reinheit ist höchstes Gebot bei der Halbleiterproduktion, um die volle Funktionstüchtigkeit der Komponenten zu gewährleisten. Damit kein Stoffaustausch zwischen den Schichten zweier Halbleiter auftritt, werden diese durch eine elektrisch leitende Barriere aus Titannitrid getrennt. Die Titannitridschichten lassen sich durch chemische oder physikalische Dampfanlagerung auf einer Oberfläche erzeugen. Judith Hierold und Christian Albrecht untersuchten mittels Elektronenspektroskopie, welches der beiden Verfahren zu einer reineren Beschichtung führt.